回転ステージ
TULA 超音波モータを搭載した超小型・高精度の回転ステージ。実心軸（θDT/θMDT）と中空軸（θHDT）の 6 機種をラインナップ。0.005° の高分解能と無通電保持を実現。
特長
- 高分解能 0.005°/パルス
- 繰返し位置決め精度 ±0.015°
- 無通電時もセルフロック保持
- 実心軸／中空軸 全 6 機種
回転軸ステージ
駆動アクチュエータに TULA50 または TULA70 を 2 本使用した実心軸の θ ステージ。テーブルサイズ φ15〜φ22mm。
回転軸ステージ
| 型式 | θDT50 | θDT70 | θMDT50 |
|---|---|---|---|
| 回転角 | 20°/60°/90°/140°/180°/260°/300°/360° ※ | 60°/120°/180°/240°/360° ※ | 60°/120°/180°/240°/360° ※ |
| 分解能 | 0.005°/パルス | 0.005°/パルス | 0.005°/パルス |
| 繰返し位置決め精度 | ±3pulse | ±3pulse | ±3pulse |
| トルク | 40g・cm | 50g・cm | 40g・cm |
| 保持力 | 130g・cm | 150g・cm | 150g・cm |
| 重量 | 10g | 19g | 8g |
| 駆動アクチュエータ | TULA50 × 2 | TULA70 × 2 | TULA50 × 2 |
中空回転ステージ
φ10.5〜φ31mm の中空径を持つ θ ステージ。光学系・配線通し用途に最適。
中空回転ステージ
| 型式 | θHDT70-H10 | θHDT70-H20 | θHDT70-H30 |
|---|---|---|---|
| 回転角 | 360° | 360° | 360° |
| 中空径 | φ10.5mm | φ22mm | φ31mm |
| 分解能 | 0.005°/パルス | 0.005°/パルス | 0.005°/パルス |
| 繰返し位置決め精度 | ±3pulse | ±3pulse | ±3pulse |
| トルク | 50g・cm | 50g・cm | 50g・cm |
| 保持力 | 150g・cm | 150g・cm | 150g・cm |
| 重量 | 15g | 58g | 70g |
| 駆動アクチュエータ | TULA70 × 2 | TULA70 × 2 | TULA70 × 2 |