Z-Θ
Z軸（直線軸）とθ軸（回転軸）を一体型にしたリニアアクチュエータです。シャフトにはバキュームラインを設けており部品を吸着して搬送できます。各軸に弊社製光学式エンコーダを搭載しており、高速かつ高精度を実現しています。電子部品等の微細部品を吸着して、必要回転角へ正確に位置決めしてのピック&プレースに最適です。
特長
- Z軸とθ軸の一体型
- バキュームライン搭載
- 光学式エンコーダ搭載
- 高速Pick & Place
Z-θユニット仕様
Z軸にはリニアモータ、θ軸にはコアレスACサーボモータを搭載。各軸に弊社製光学式エンコーダを搭載し高速かつ高精度を実現。電子部品等の微細部品を吸着して必要回転角へ正確に位置決めするピック＆プレースに最適。
ZLRシリーズ（Z軸＋θ軸）
| 項目 | ZLR45-15 | ZLR25-15 | ZLR20-8.8 |
|---|---|---|---|
| 本体サイズ (H/D/W) | 216.4/83.5/15.0mm | 196.4/83.5/15.0mm | 145.5/70/8.8mm |
| 重量 | 570g | 520g | 260g |
| 可動部重量 | 150g | 150g | 80g |
| 電源 | DC24V | DC24V | DC24V |
| Z軸ストローク | 45mm | 25mm | 20mm |
| Z軸分解能 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm |
| Z軸位置決め精度 | ±3pls | ±3pls | ±3pls |
| Z軸最高速度 | 1.5m/sec | 1.0m/sec | 300mm/sec |
| Z軸加速度 | 5G | 5G | 2G |
| 先端振れ | ±15μm | ±15μm | ±15μm |
| 回転分解能 | 0.005° | 0.005° | 0.005° |
| 回転位置決め精度 | ±3pls | ±3pls | ±3pls |
| 最大トルク | 0.07mN·m | 0.07mN·m | 40mN·m |
| 最大回転数 | 7000rpm | 7000rpm | 2000rpm |
ZLAシリーズ（Z軸のみ）
| 項目 | ZLA25-9 | ZLA12-15 |
|---|---|---|
| 本体サイズ (H/D/W) | 144.5/62.5/9mm | 165/55/12mm |
| 重量 | 200g | 240g |
| 可動部重量 | 50g | 120g |
| 電源 | DC24V | DC24V |
| Z軸ストローク | 25mm | 120mm |
| Z軸分解能 | 0.1μm | 0.1μm |
| Z軸位置決め精度 | ±3pls | ±3pls |
| Z軸最高速度 | 200mm/sec | 200mm/sec |
| Z軸加速度 | 3G | 3G |
| 先端振れ | ±15μm | ±15μm |
ZVRシリーズ（加圧制御対応）
高精度ピック＆プレースユニット（加圧制御対応）。最適化されたメカニズム（軸一体型）で回転軸振れ ±2µm 以下を実現。エアベアリングモデル（ZVR-A30）は加圧力 1g、ボールベアリングモデル（ZVR-B30）は加圧力 10g からの精密加圧搬送が可能。
ZVRシリーズ仕様
| 項目 | ZVR-A30 | ZVR-B30 |
|---|---|---|
| 本体サイズ (H/D/W) | 116.5/28.0/46.5mm | 116.5/28.0/46.5mm |
| 重量 | 260g | 260g |
| 可動部重量 | 60g | 60g |
| 電源 | DC24V | DC24V |
| Z軸駆動モータ | ボイスコイルモータ | ボイスコイルモータ |
| 軸受 | エアベアリング | ボールベアリング |
| 回転軸振れ | ±2μm | ±15μm |
| バキュームポート | 有 | 有 |
| Z軸ストローク | 5mm | 5mm |
| Z軸分解能 | 0.1μm | 0.1μm |
| Z軸位置決め精度 | ±3pls | ±3pls |
| Z軸最高速度 | 100mm/sec | 100mm/sec |
| Z軸加速度 | 1G | 1G |
| 推力定数 | 2N/A | 2N/A |
| 定格推力 | 1.2N | 1.2N |
| 最大推力 | 3N | 3N |
| 加圧分解能 | 0.1g | 1.0g |
| 最小加圧力 | 1.0g | 10g |
| 最大加圧力 | 150g | 150g |
| 加圧精度 | ±10% | ±10% |
| 回転分解能 | 0.005° | 0.005° |
| 回転位置決め精度 | ±3pls | ±3pls |
| 最大トルク | 30mN·m | 30mN·m |
| 最高回転数 | 2000rpm | 2000rpm |