超音波モータ
TULA — 超小型超音波モータ
一般にアクチュエータとしては電磁式、流体式（空圧・油圧）が主流ですが、近年新しい超音波モータが登場し、産業用をはじめデジタルカメラや携帯電話等のモバイル用アクチュエータにも採用されています。弊社が提供する超小型超音波モータは、韓国 Piezoelectric Technology Co., Ltd の研究開発を経て製品化されたもの。これに弊社開発の超小型高分解能エンコーダを組み合わせた各種ステージ・ドライバ・コントローラにより、微細構造の高精度な自動化を実現します。
TULA の特長
- 軸の自己潤滑作用によりガイド軸を兼用可能
- 材質・接着材変更により真空 (10⁻⁵Pa) 実績あり
- 非磁性材料で構成でき、強磁場環境でも駆動可能
- 構造がシンプルで部品点数が少なく、量産時のコストダウンが可能
- ダイレクト機構による高い機械応答性（振動 ⇒ 動作）
- 停止時は摩擦力によって完全停止（無振動・無発熱）
- 駆動音が小さい
- 無通電時でも保持力が高い
- 減速機無しで低速・高トルク（推力）・軽量化を実現
TULA 駆動原理
超小型超音波リニアアクチュエータ TULA は、ユニモルフ／バイモルフ型の圧電セラミックスの振動制御に依る次世代アクチュエータです。駆動軸の根元に固定された圧電セラミックスが振動し、その行きと帰りのスピードを変えることで摩擦体（移動体）を微小量置き去ることで動作します。慣性の法則を利用したインパクト駆動方式を基本原理とし、微動作を高い振動周波数（超音波振動）でコントロールするため滑らかに動作。超小型形状ながら高い推力・保持力が得られ、位置決め用アクチュエータに最適です。
直動・XYステージ
TULA 超音波モータを搭載した超小型・高精度の直動／XY ステージ。1 軸・2 軸の基本型からクロスローラガイド、リニアガイド、中空タイプまで 15 機種をラインナップ。最小 0.1μm の分解能と無通電保持を実現。
回転ステージ
TULA 超音波モータを搭載した超小型・高精度の回転ステージ。実心軸（θDT/θMDT）と中空軸（θHDT）の 6 機種をラインナップ。0.005° の高分解能と無通電保持を実現。
フィンガーユニット
光学部品・半導体部品の微細化が進む中、1mm 以下のハンドリングに対応する超音波モータ駆動の精密フィンガー。オープン制御と高分解能エンコーダ搭載のクローズ制御モデル、Z軸組込モデルなどを用意。
ケージシステム
THORLABS 製の光学ケージシステムに組み込む超音波モータ駆動の XY 軸・Z 軸移動マウント。最大 φ1/2 インチまでの光学素子をサブミクロン精度で調整可能。