Z-Θ
Z축(직선축)과 θ축(회전축)을 일체형으로 한 리니어 액추에이터입니다. 샤프트에 진공 라인을 갖추어 부품을 흡착 반송할 수 있습니다. 각 축에 당사 광학식 인코더를 탑재하여 고속·고정밀을 실현. 전자 부품 등의 미세 부품을 흡착하여 필요한 회전각으로 정확히 위치 결정하는 픽&플레이스에 최적.
특징
- Z축과 θ축 일체형
- 배큠 라인 탑재
- 광학식 엔코더 탑재
- 고속 Pick & Place
Z-θ 유닛 사양
Z축에는 리니어 모터, θ축에는 코어리스 AC 서보 모터를 채용. 각 축에 당사 광학식 인코더를 탑재해 고속·고정밀 실현. 전자부품 등 미세 부품을 흡착·소요 각도로 정확히 위치 결정하는 픽&플레이스에 최적.
ZLR 시리즈（Z축 + θ축）
| 항목 | ZLR45-15 | ZLR25-15 | ZLR20-8.8 |
|---|---|---|---|
| 본체 사이즈 (H/D/W) | 216.4/83.5/15.0mm | 196.4/83.5/15.0mm | 145.5/70/8.8mm |
| 중량 | 570g | 520g | 260g |
| 가동부 중량 | 150g | 150g | 80g |
| 전원 | DC24V | DC24V | DC24V |
| Z축 스트로크 | 45mm | 25mm | 20mm |
| Z축 분해능 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm |
| Z축 위치 결정 정밀도 | ±3pls | ±3pls | ±3pls |
| Z축 최고 속도 | 1.5m/sec | 1.0m/sec | 300mm/sec |
| Z축 가속도 | 5G | 5G | 2G |
| 선단 진동 | ±15μm | ±15μm | ±15μm |
| 회전 분해능 | 0.005° | 0.005° | 0.005° |
| 회전 위치 결정 정밀도 | ±3pls | ±3pls | ±3pls |
| 최대 토크 | 0.07mN·m | 0.07mN·m | 40mN·m |
| 최대 회전수 | 7000rpm | 7000rpm | 2000rpm |
ZLA 시리즈（Z축만）
| 항목 | ZLA25-9 | ZLA12-15 |
|---|---|---|
| 본체 사이즈 (H/D/W) | 144.5/62.5/9mm | 165/55/12mm |
| 중량 | 200g | 240g |
| 가동부 중량 | 50g | 120g |
| 전원 | DC24V | DC24V |
| Z축 스트로크 | 25mm | 120mm |
| Z축 분해능 | 0.1μm | 0.1μm |
| Z축 위치 결정 정밀도 | ±3pls | ±3pls |
| Z축 최고 속도 | 200mm/sec | 200mm/sec |
| Z축 가속도 | 3G | 3G |
| 선단 진동 | ±15μm | ±15μm |
ZVR 시리즈（가압 제어）
고정밀 픽&플레이스 유닛（가압 제어 대응）. 최적화된 일체형 메커니즘으로 회전축 진동 ±2µm 이하 실현. 에어 베어링 모델（ZVR-A30）은 가압력 1g, 볼 베어링 모델（ZVR-B30）은 가압력 10g부터의 정밀 가압 반송 가능.
ZVR 시리즈 사양
| 항목 | ZVR-A30 | ZVR-B30 |
|---|---|---|
| 본체 사이즈 (H/D/W) | 116.5/28.0/46.5mm | 116.5/28.0/46.5mm |
| 중량 | 260g | 260g |
| 가동부 중량 | 60g | 60g |
| 전원 | DC24V | DC24V |
| Z축 구동 모터 | 보이스 코일 모터 | 보이스 코일 모터 |
| 베어링 | 에어 베어링 | 볼 베어링 |
| 회전축 진동 | ±2μm | ±15μm |
| 진공 포트 | 있음 | 있음 |
| Z축 스트로크 | 5mm | 5mm |
| Z축 분해능 | 0.1μm | 0.1μm |
| Z축 위치 결정 정밀도 | ±3pls | ±3pls |
| Z축 최고 속도 | 100mm/sec | 100mm/sec |
| Z축 가속도 | 1G | 1G |
| 추력 상수 | 2N/A | 2N/A |
| 정격 추력 | 1.2N | 1.2N |
| 최대 추력 | 3N | 3N |
| 가압 분해능 | 0.1g | 1.0g |
| 최소 가압력 | 1.0g | 10g |
| 최대 가압력 | 150g | 150g |
| 가압 정밀도 | ±10% | ±10% |
| 회전 분해능 | 0.005° | 0.005° |
| 회전 위치 결정 정밀도 | ±3pls | ±3pls |
| 최대 토크 | 30mN·m | 30mN·m |
| 최고 회전수 | 2000rpm | 2000rpm |