Z-Θ

将Z轴（直线轴）和θ轴（旋转轴）一体化的线性执行器。轴上设有真空管路，可吸附部件进行搬运。各轴搭载本公司光学编码器，实现高速高精度。最适用于吸附电子元件等微细部件并精确定位到所需旋转角度的拾放操作。

Z-θ 单元规格

Z 轴采用直线电机，θ 轴采用无芯交流伺服电机。各轴搭载本公司光学编码器，实现高速高精度。适用于吸附电子元件等微小部件并精确定位至所需旋转角度的拾放操作。

项目	ZLR45-15	ZLR25-15	ZLR20-8.8
本体尺寸 (H/D/W)	216.4/83.5/15.0mm	196.4/83.5/15.0mm	145.5/70/8.8mm
重量	570g	520g	260g
可动部分重量	150g	150g	80g
电源	DC24V	DC24V	DC24V
Z 轴行程	45mm	25mm	20mm
Z 轴分辨率	0.1μm	0.1μm	0.1μm
Z 轴定位精度	±3pls	±3pls	±3pls
Z 轴最高速度	1.5m/sec	1.0m/sec	300mm/sec
Z 轴加速度	5G	5G	2G
末端跳动	±15μm	±15μm	±15μm
旋转分辨率	0.005°	0.005°	0.005°
旋转定位精度	±3pls	±3pls	±3pls
最大转矩	0.07mN·m	0.07mN·m	40mN·m
最大转速	7000rpm	7000rpm	2000rpm

高精度拾放单元（支持加压控制）。优化的一体化机构实现回转轴跳动 ±2µm 以下。空气轴承型（ZVR-A30）最小加压力 1g，球轴承型（ZVR-B30）最小加压力 10g，实现精密加压搬运。