Z-θユニット（加圧制御対応）

高精度ピック＆プレースユニット（加圧制御対応）
高精度リニアロータリアクチュエータ　ZVR-A30/ZVR-B30

Z軸（直線軸）とθ軸（回転軸）を一体型にした、リニアアクチュエータです。
シャフトには、バキュームラインを設けており部品を吸着して搬送できます。

ー特長ー

・最適化されたメカニズム（軸一体型）で回転軸振れ±2µm以下。

・非接触軸受（エアベアリング）で加圧力1g実現。

・補正機能にてリニアリティを実現。

・ラビリンス機構で非接触バキュームを実現。

・光学式小型エンコーダで高精度位置決めを実現。

Z-θユニット　カタログ

仕様

		ZVRーA30	ZVRーB30
本体	サイズ（H/D/W）	116.5/28.0/46.5 mm	116.5/28.0/46.5 mm
	重量	260g	260g
	可動部重量	60g	60g
	電源電圧	DC24V	DC24V
	Z軸駆動モータ	ボイスコイルモータ	ボイスコイルモータ
	軸受	エアベアリング	ボールベアリング
	回転軸振れ	±2μｍ	±15μm
	バキュームポート	有り	有り
Linear	ストローク	5mm	5mm
	分解能	0.1μm	0.1μm
	位置決め精度	±3pls	±3pls
	最高速度	100mm/s	100mm/s
	加速度	1G	1G
	推力定数	2N/A	2N/A
	定格電流	0.6A	0.6A
	定格推力	1.2N	1.2N
	最大電流	2A	2A
	最大推力	3N	3N
	加圧分解能	0.1g	1.0g
	最小加圧力	1.0g	10g
	最大加圧力	150g	150g
	加圧精度	±10％	±10％
Rotary	分解能（pls）	0.005deg	0.005deg
	位置決め精度	±3pls	±3pls
	最大トルク	30mN・m	30mN・m
	最高回転数	2000rpm	2000rpm
	定格電流	0.6A	0.6A