直動モータシリーズ

ボイスコイルモータ
(VCM)

ボイスコイルモータ
軸方向に対して直線上に動作する円筒型のボイスコイルモータ
短尺ストロークで応答性を上げられるVCMユニット
1コイルでコイル転流回路が不要でコギングレスで
円筒型 AVMシリーズ と ステージ応用 MGVシリーズを用意。       

ボイスコイルモータ(VCM)

ボイスコイルモータステージ
(VCMステージ)

VCMステージ
単相モータで推力リップルがなく高精度
ボイスコイルモータをステージの重心側に内蔵したコンパクト設計
平角コイルを使ったフラットコイル式を採用し、推力15%以上アップ(当社比)       

ボイスコイルモータステージ(VCMステージ)

リニアモータモジュール
(コアレス型)
リニアモータモジュール(コアレス型)
容易に組み込み可能なリニアモータモジュール
独自の巻線仕様によりコイル長を短く、そのため同軸複数制御においてもストロークを大きくとることができ、高推力を実現したリニアモータモジュールです。       

リニアモータモジュール(コアレス型)

リニアモータモジュール
(コア付型)
リニアモータモジュール(コア付型)
コア付高トルクリニアモータモジュール
コア付のダイレクトドライブブラシレス構造       

リニアモータモジュール(コア付型)

リニアモータステージ
(コアレス・コイル可動型)
リニアモータステージ(コイル可動型)
短尺コイルで高推力リニアモータを採用したステージ
ダイレクトドライブ構造でバックラッシュがなく、高剛性、高精度。
独自のリニアモータ機構により、最大加速8G、最大速度5m/secの短軸リニアステージ。       

リニアモータモステージ(コアレス・コイル可動型)

リニアモータステージ
(コアレス・マグネット可動型)
リニアモータステージ(マグネット可動型)
マグネット可動型リニアモータで、ケーブルベアが不要
精密クロスローラガイドを採用し、コンパクトは設計で薄型・高精度、高信頼性のステージです。       

リニアモータモステージ(コアレス・マグネット可動型)

Z-θユニット
Z-θユニット
高精度ピック&プレース用ユニット
Z軸とθ軸を一体型にしたリニアロータリアクチュエータです。
回転シャフトには、バキュームラインを設けており部品を吸着して搬送できます。       

Z-θユニット