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Product Categories: TULA2軸ステージ

XYCWT70-15

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2軸ステージ　 Type：XYCWT70-15

X-Y軸クロスローラガイドステージ　XYCWT70-155型

 
TULA X-Y軸クロスローラガイドステージ　XYCWT70-155		 ― 仕様 －

    1. 駆動アクチュエータ：TULA70  4本
    2. ストローク：15mm
    3. 分解能：1.0μm
      （0.1、0.5、1.0、5.0μm選択可）
    4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
      （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
    5. 推力：70gf
    6. 保持力：350gf
    7. 重量：約80g
    8. テーブルサイズ：20×42mm

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XYCWT70-10

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2軸ステージ　 Type：XYCWT70-10

X-Y軸クロスローラガイドステージ　XYCWT70-105型

 
TULA X-Y軸クロスローラガイドステージ　XYCWT70-105		 ― 仕様 －

    1. 駆動アクチュエータ：TULA70  4本
    2. ストローク：10mm
    3. 分解能：1.0μm
      （0.1、0.5、1.0、5.0μm選択可）
    4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
      （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
    5. 推力：80gf
    6. 保持力：350gf
    7. 重量：約60g
    8. テーブルサイズ：20×32mm

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XYHDT50-04

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2軸ステージ　 Type：XYHDT50-04

X-Y軸-中空ステージ　XYHDT50-045型

 
TULA X-Y軸中空ステージ　XYHDT50-045		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA50  4本
  2. ストローク：4mm
  3. 分解能：1.0μm
    （0.1、0.5、1.0、5.0μm選択可）
  4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
    （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
  5. 推力：60gf
  6. 保持力：250gf
  7. 重量：約44g
  8. テーブルサイズ：47×50mm
  9. 有効中空径：φ23mm

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XYDT70-15

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2軸ステージ　 Type：XYDT70-15

X-Y軸ステージ　XYDT70-155型

 
TULA X-Y軸ステージ　XYDT70-155		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA70  4本
  2. ストローク：15mm
  3. 分解能：1.0μm
    （0.1、0.5、1.0、5.0μm選択可）
  4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
    （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
  5. 推力：50gf
  6. 保持力：250gf
  7. 重量：約28g
  8. テーブルサイズ：22×26mm

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XYDT70-10

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2軸ステージ　 Type：XYDT70-10

X-Y軸ステージ　XYDT70-105型

  
TULA X-Y軸ステージ　XYDT70-105		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA70  4本
  2. ストローク：10mm
  3. 分解能：1.0μm
    （0.1、0.5、1.0、5.0μm選択可）
  4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
    （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
  5. 推力：60gf
  6. 保持力：250gf
  7. 重量：約26g
  8. テーブルサイズ：22×26mm

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XYDT50-04

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1軸ステージ　 Type：XYDT50-04

X-Y軸ステージ　XYDT50-045型

 
TULA X-Y軸ステージ　XYDT50-045		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA50   4本
  2. ストローク：4mm
  3. 分解能：1.0μm
    （0.1、0.5、1.0、5.0μm選択可）
  4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
    （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
  5. 推力：60gf
  6. 保持力：250gf
  7. 重量：約22g
  8. テーブルサイズ：22×26mm

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