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TULA2軸ステージ：XYCWT70-15

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2軸ステージ　 Type：XYCWT70-15

X-Y軸クロスローラガイドステージ　XYCWT70-155型

 
TULA X-Y軸クロスローラガイドステージ　XYCWT70-155		 ― 仕様 －

    1. 駆動アクチュエータ：TULA70  4本
    2. ストローク：15mm
    3. 分解能：1.0μm
      （0.1、0.5、1.0、5.0μm選択可）
    4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
      （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
    5. 推力：70gf
    6. 保持力：350gf
    7. 重量：約80g
    8. テーブルサイズ：20×42mm

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