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TULA1軸ステージ：XLGT70-15

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1軸ステージ　 Type：XLGT70-15

X軸リニアガイド付きステージ　XLGT70-157型

 
 
                  

TULA X軸ステージ　XLGT70-255

 ― 仕様 －

  1. ガイドタイプ：リニアガイド　1本
  2. 駆動アクチュエータ：TULA70 ２本
  3. ストローク：±7.5mm
  4. 分解能：0.1μm/パルス（ABZ相）
     （0.1,0.5,1.0, 5.0μm選択可）
  5. 繰返し位置決め精度：±0.5パルス
    （分解能 0.5、1.0、5.0μm選択時：±3パルス）
  6. 推力：70gf
  7. 保持力：300~350gf
  8. 重量：約23g
  9. テーブルサイズ；30×31mm

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