TULA1軸ステージ:XDT70-10

1軸ステージ  Type:XDT70-10

X軸ステージ XDT70-105型

 
TULA X軸ステージ XDT70-105
― 仕様 -

  1. 駆動アクチュエータ:TULA70  2本
  2. ストローク:10mm
  3. 分解能:1.0μm
    (0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可)
  4. 繰返し位置決め精度:±3パルス
    (分解能 0.1μm選択時:±5パルス)
  5. 推力:70gf
  6. 保持力:300gf
  7. 重量:約13g
  8. テーブルサイズ:22×26mm