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テクノハンズ株式会社
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TULAステージ
TULA1軸ステージ:XDT70-10
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1軸ステージ Type:XDT70-10
X軸ステージ XDT70-105型
TULA X軸ステージ XDT70-105
― 仕様 -
駆動アクチュエータ:TULA70 2本
ストローク:10mm
分解能:1.0μm
(0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可)
繰返し位置決め精度:±3パルス
(分解能 0.1μm選択時:±5パルス)
推力:70gf
保持力:300gf
重量:約13g
テーブルサイズ:22×26mm
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