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TULA1軸ステージ：XDT50-04

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1軸ステージ　 Type：XDT50-04

X軸ステージ　XDT50-045型


TULA X軸ステージ　XDT50-045		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA50  2本
  2. ストローク：4mm
  3. 分解能：1.0μm
    （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
  4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
    （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
  5. 推力：70gf
  6. 保持力：300gf
  7. 重量：約11g
  8. テーブルサイズ：22×26mm

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