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TULAθ軸ステージ：θHDT70-H30

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θ軸ステージ　 Type：θHDTH70-H30

θ軸中空ステージ　θHDTH70-H302型

 
TULA θ軸中空ステージ　θHDT70-H302		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
  2. ストローク：360°（±180°）
  3. 分解能：0.005°/パルス（ABZ相）
  4. 繰返し位置決め精度：±0.015°
  5. 推力：50gf・cm
  6. 保持力：150gf・cm
  7. 重量：約58ｇ
  8. テーブルサイズ：φ39.5mm
  9. 中空径：φ31mm

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