笼系统
THORLABS制的光学笼系统中嵌入的超音波电机驱动XY轴移动支架、Z轴移动支架
超音波电机、通电状态下移动、无通电时利用摩擦体保持的特性、恶劣环境、非常狭隘场所等情况下可以对组件远程操作进行调整。
使用本驱动结构、可以对最大径φ1/2寸为止的光学素子以超微粒的精度进行调整。
驱动系参考图 |
30mm 笼系统 | 16mm 笼系统 | |||
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CGXY12-TL30 |
CGZ12-TL30 |
CGXYZ09-TL16 |
CGZ12-TL16 |
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适用素子径 | φ6、φ9、φ12 | φ6、φ9、φ12 | φ6、φ9 | φ6、φ9、φ12 |
适用素子厚度 | 3.5mm | |||
调整范围(XY轴) | ±1.0mm | |||
调整范围(Z轴) | ±1.5mm | |||
驱动超音波电机 | TULA50 | |||
分辨率 | 1pulse:0.1、0.5、1.0、5.0μm 可以选择 | |||
位置再现性 | ±3pulse |
- ※以上产品型号为、光学素子:φ9 编码器分辨率为:1.0μm。
选择光学素子径和分辨率。 - ※光学系和驱动系等各种设计制作、请与本公司联系。