直動モータシリーズ
ボイスコイルモータ
(VCM)
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軸方向に対して直線上に動作する円筒型のボイスコイルモータ
短尺ストロークで応答性を上げられるVCMユニット
1コイルでコイル転流回路が不要でコギングレスで
円筒型 AVMシリーズ と ステージ応用 MGVシリーズを用意。
ボイスコイルモータ(VCM) |
ボイスコイルモータステージ
(VCMステージ)
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単相モータで推力リップルがなく高精度
ボイスコイルモータをステージの重心側に内蔵したコンパクト設計
平角コイルを使ったフラットコイル式を採用し、推力15%以上アップ(当社比)
ボイスコイルモータステージ(VCMステージ) |
リニアモータモジュール
(コアレス型)
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容易に組み込み可能なリニアモータモジュール
独自の巻線仕様によりコイル長を短く、そのため同軸複数制御においてもストロークを大きくとることができ、高推力を実現したリニアモータモジュールです。
リニアモータモジュール(コアレス型) |
リニアモータモジュール
(コア付型)
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コア付高トルクリニアモータモジュール
コア付のダイレクトドライブブラシレス構造
リニアモータモジュール(コア付型) |
リニアモータステージ
(コアレス・コイル可動型)
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短尺コイルで高推力リニアモータを採用したステージ
ダイレクトドライブ構造でバックラッシュがなく、高剛性、高精度。
独自のリニアモータ機構により、最大加速8G、最大速度5m/secの短軸リニアステージ。
リニアモータモステージ(コアレス・コイル可動型) |
リニアモータステージ
(コアレス・マグネット可動型)
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マグネット可動型リニアモータで、ケーブルベアが不要
精密クロスローラガイドを採用し、コンパクトは設計で薄型・高精度、高信頼性のステージです。
リニアモータモステージ(コアレス・マグネット可動型) |
Z-θユニット
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高精度ピック&プレース用ユニット
Z軸とθ軸を一体型にしたリニアロータリアクチュエータです。
回転シャフトには、バキュームラインを設けており部品を吸着して搬送できます。
Z-θユニット |