ケージシステム

THORLABS製の光学ケージシステムに組込む超音波モータ駆動のXY軸移動マウント、Z軸移動マウント

超音波モータは、通電して移動し、無通電では摩擦体により保持される特性を生かし、悪環境や、獄狭箇所等に遠隔操作にて調整できるユニットを提供いたします。

本アクチュエータを使用して、最大径φ1/2インチまでの光学素子をサブミクロンの精度で調整が可能となります。

駆動系参考図

 

	30mm ケージシステム		16mm ケージシステム
	CGXY12-TL30	CGZ12-TL30	CGXYZ09-TL16	CGZ12-TL16
適用素子径	φ6、φ9、φ12	φ6、φ9、φ12	φ6、φ9	φ6、φ9、φ12
適用素子厚さ	3.5mm
調整範囲（XY軸）	±1.0mm
調整範囲（Z軸）	±1.5mm
駆動超音波モータ	TULA50
分解能	1パルス：0.1、0.5、1.0、5.0μm　選択可能
位置再現性	±3パルス

• ※上記製品型番は、光学素子：φ9　エンコーダ分解能：1.0μmとなります。
  光学素子径と分解能を選択いただきます。
• ※光学系や駆動系等各種設計製作を承りますので、お気軽にお問合せ下さい。