TULAステージ
標準ステージ
1軸ステージ |
クロスローラガイド 1軸ステージ |
2軸ステージ |
θ軸ステージ |
2軸中空ステージ |
クロスローラガイド 2軸ステージ |
1軸ステージ | ||||||
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型式 | XDT35-04 | XDT50-04 | XDT70-10 | XDT70-15 | XMDT50-05 | XCTW70-255 |
ストローク | 4mm | 4mm | 10mm | 15mm | 5mm | 25mm |
分解能 | オープンまたは1pulse:0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm ※ | オープンまたは 1.0, 5.0μm ※ |
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繰返し位置決め精度 | ±3pulse(エンコーダ付きのみ) | |||||
最大推進力 | 40gf | 70gf | 70gf | 60gf | 60gf | 50gf |
保持力 | 150gf | 300gf | 300gf | |||
最大速度 | 10mm/s | |||||
重量 | 8g | 11g | 13g | 14g | 5g | 70g |
クロスローラーガイド 1軸ステージ | リニアガイド 1軸ステージ | ||
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型式 | XCWT70-10 | XCWT70-15 | XLGT70-15 |
ストローク | 10mm | 15mm | 15mm |
分解能 | オープンまたは1pulse:0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm ※ | ||
繰返し位置決め精度 | ±3pulse(エンコーダ付きのみ) | ||
最大推進力 | 80gf | 70gf | |
保持力 | 350gf | 300gf | |
最大速度 | 10mm/s | ||
重量 | 30g | 40g | 23g |
2軸ステージ | 2軸 中空ステージ |
クロスローラーガイド 2軸ステージ |
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型式 | XYDT50-04 | XYDT70-10 | XYDT70-15 | XYHDT50-04 | XYCWT70-10 | XYCWT70-15 |
ストローク | 4mm | 10mm | 15mm | 4mm | 10mm | 15mm |
分解能 | オープンまたは1pulse:0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm ※ | |||||
繰返し位置決め精度 | ±3pulse(エンコーダ付きのみ) | |||||
最大推進力 | 60gf | 60gf | 50gf | 60gf | 80gf | 70gf |
保持力 | 250gf | 350gf | ||||
最大速度 | 10mm/s | 10mm/s | ||||
重量 | 22g | 26g | 28g | 44g | 60g | 80g |
回転軸ステージ | 中空回転ステージ | |||||
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型式 | θDT50 | θDT70 | θMDT50 | θHDT70-H10 | θHDT70-H20 | θHDT70-H30 |
回転角 | 20°/60°/90°/140° /180°/260°/300° /360°※ |
60°/120°/180°/240°/360°※ | 360° | |||
中空径 | φ10.5mm | φ22mm | φ31mm | |||
分解能 | オープンまたは1pulse:0.005° | |||||
繰返し位置決め精度 | ±3pulse(エンコーダ付きのみ) | |||||
トルク | 40g・cm | 50g・cm | 40g・cm | 50g・cm | ||
保持力 | 130g・cm | 150g・cm | 150g・cm | 150g・cm | ||
重量 | 10g | 19g | 8g | 15g | 58g | 70g |
動作温度 / 湿度:+10~+50℃ / 0~80% (結露無き事)
保管温度 / 湿度:-10~+60℃ / 0~80%(結露無き事)
※印 選択可能