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超音波モータ・ドライバシリーズ

TULA 超小型超音波モータ

一般にアクチュエータとしては、電磁式、流体式（空圧、油圧）が主流ですが、近年全く新しい超音波モータが登場し、産業用をはじめデジタルカメラや携帯電話等のモバイルのアクチュエータにも採用されております。
また、現在ではMEMSといった分野の微細化が進んできております。
弊社が提供する超小型超音波モータは、韓国　ピエゾテック社（Piezoelectric Technology Co.,Ltd）にて国の研究機関（KIST：Korea Institute of Science and Technology）で電圧超音波モータに関する研究を行い、産業化できる製品開発に成功したものです。この超小型超音波モータと弊社開発の超小型高分解能エンコーダを搭載した各種ステージ、ドライバ・コントローラ等で高精度な微細構造の自動化の展開が具体的になります。

TULA 特長

TULAは軸の自己潤滑作用によりガイド軸を兼用可能。
材質・接着材変更により真空(10-5Pa)実績あり。
非磁性材料で構成でき、強磁場環境でも駆動可能。
構造がシンプルで部品点数が少ないため、量産時のコストダウンが可能。
ダイレクト機構による高い機械応答性（振動⇒動作）。
停止時は摩擦力によって完全停止（無振動、無発熱）。
駆動音が小さい。
無通電時でも保持力が高い。
減速機無しで低速・高トルク（推力）・軽量化を実現。

TULA 駆動原理

超小型超音波リニアアクチュエータ：TULAは、ユニモルフ型、またはバイモルフ型の圧電セラミックスの振動制御に依る次世代アクチュエータです。駆動軸の根元に圧電セラミックスが固定され、駆動軸に予圧が掛かった摩擦体（移動体）で挟み込み、停止時はその摩擦力で保持するため、電磁モータの様な微振動は生じず発熱もありません。
動作原理は、圧電セラミックス（振動子）が振動して駆動軸に伝わり、その振動の行きと帰りのスピードを変える事で移動体（摩擦体）を微小量置き去ることで動作させます。慣性の法則を利用したインパクト駆動方式を基本原理とし、微動作を高い振動周波数（超音波振動）でコントロールしますので、アクチュエータとして滑らかに動作します。超小型形状に対し、高い推力・保持力が得られ、位置決め用アクチュエータに最適です。